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灵瞳 SensEye Pro 无图晶圆检测设备
产品介绍
该系列设备依托先进的PMT/光学成像检测技术，具备亚微米级至纳米级的高灵敏度缺陷检测能力，可精准识别分类各类微小缺陷并输出可操作数据，广泛应用于半导体晶圆生产领域，助力企业提升产品良率、降低总拥有成本。设备特点
- 集成暗场（Darkfield）小颗粒检测通道+明场（Brightfield）划痕检测通道，搭配自研 AI缺陷分类算法；
- 高检测效率，WPH 高达550@4 inch；
- 最小检测缺陷85nm。
